에스엔유프리시젼은 원자층 증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
회사측은 “기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있는 원자층 증착장치에 관한 것”이라며 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
에스엔유프리시젼은 원자층 증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
회사측은 “기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있는 원자층 증착장치에 관한 것”이라며 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.