상아프론테크(089980)는 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어에 관한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 이송하는 용기인 웨이퍼 캐리어(FOUP)의 door가 비의도적으로 개방됨을 방지하며 반도체 제조공정의 핵심장비인 12인치 웨이퍼 캐리어 (FOUP) 관련 특허취득 및 제품 생산으로 국내 및 해외 반도체 메이커에 제품을 공급할 계획”이라고 설명했다.


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