뷰웍스가 서울 코엑스에서 열린 ‘2024 스마트공장·자동화산업전’에서 반도체 등 전자산업용 고정밀 검사장치 'VEO포커스'를 시연하고 있다. [뷰웍스 제공]

반도체 웨이퍼, OLED 디스플레이 생산 공정에서 1㎛(100만분의 1ｍ) 크기의 표면 결함을 잡아내는 검사장치가 국내에서 개발돼 성공적으로 시연됐다.

뷰웍스(대표 김후식)가 27∼29일 서울 코엑스에서 열리고 있는 ‘2024 스마트공장·자동화산업전(SF+AW 2024)’에 참가해 지난 1월 개발한 서브마이크로(1㎛ 이하) 검사장치 ‘VEO포커스’를 공개했다.

VEO포커스는 고감도 산업용 카메라와 최적화된 고배율 렌즈를 조합해 서브마이크로 수준의 결함을 검사, 생산수율을 극대화하는 장치다. 이는 OLED, 마이크로 LED디스플레이, 반도체 웨이퍼, 2차전지, PCB 등 대면적 고배율의 촬영이 필요한 산업에 특화됐다. 고객의 요구사양에 맞춰 장치를 만들어준다.

VEO포커스의 구성요소인 고해상도 TDI 라인스캔 카메라 ‘VTDI’는 뷰웍스가 독자 개발한 하이브리드센서가 적용됐다. CCD, CMOS 센서의 장점을 결합해 선명한 화질을 구현하고 빠른 영상처리속도를 겸비해 초고속 촬영환경에서도 선명한 영상을 구현해준다.

또 최적화된 렌즈 ‘VEO시리즈’를 결합해 전체 검사영역에서 고화질의 영상 획득이 가능하다. VEO시리즈는 하이엔드 검사장비 시장 공략을 위해 뷰웍스가 독일 렌즈명가 슈나이더와 함께 개발한 산업용 렌즈다. VTDI시리즈와 결합하면 0.4㎛ 수준의 미세결함까지 검출해낸다고 뷰웍스 측은 설명했다.

디스플레이, 반도체 산업의 성장에 힘입어 서브마이크로 검사장비가 새 시장으로 떠올라 뷰웍스에 기회가 되고 있다. 이 회사는 의료·산업용 영상솔루션 기업으로, 고정밀 카메라·엑스레이디텍터·렌즈 등을 생산한다.

뷰웍스는 이번 전시회에서 VEO포커스 외에도 산업용 카메라 15종, 산업용 렌즈(VEO시리즈) 20종, 엑스레이디텍터 3종 등 초고해상도와 고속도의 차별화된 제품군을 전시하고 있다.

뷰웍스 관계자는 “고객사의 요구에 맞춰 장비를 만들어줄 수 있다. 고정밀 검사장비 시장에서 입지를 넓히고, 잠재고객도 확보할 방침”이라고 했다.