기후위기시계
×
News
정치
경제
사회
국제
IT/과학
생활/문화
연예/스포츠
오피니언
지역뉴스
호남취재본부
대구&경북
PR Newswire
Special Section
D;Con
HeMil(밀리터리)
기획기사
H.Insight
Global Insight
오운완(운세/사주)
●
실시간 뉴스
기획기사
신문구독
뉴스레터
최신기사
[생생코스닥]로체시스템즈, 퍼지 모듈 관련 특허취득
2018.04.20 14:42
[헤럴드경제=증권팀] 로체시스템즈는 퍼지 모듈 지그 및 이를 포함한 퍼지 모듈에 관한 특허권을취득했다고20일 공시했다.
회사측은 “반도체 웨이퍼들이 패킹된 웨이퍼 카세트 내에 가스를 이용하여 퍼지하는 퍼지 모듈 지그 및 이를 포함한 퍼지 모듈에 관한 것”이라고 설명했다.
이어 “반도체 이송장비에 적용할 예정”이라고 밝혔다.
park@heraldcorp.com
맞춤 정보
당신을 위한 추천 정보
많이 본 정보
오늘의 인기정보
이슈 & 토픽
비즈 링크