"＜생생코스닥＞테스, 기판 처리 장치 관련 특허권 취득"- 헤럴드경제

테스(095610)는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 배기 압력 분포를 공정 중단없이 용이하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 막 균일도의 저하를 미연에 방지할 수 있다”고 설명했다.

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