테스(095610)는 진공증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 진공챔버 상부에 장착된 기판을 향하여 히터모듈의 각도를 간단하게 조절할 수 있으므로 대면적의 기판인 경우에도 증착장치를 대형화하지 않고도 균일한 막을 형성할 수 있다”고 설명했다.