테스(095610)는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다

회사측은 “이번 특허는 신속하게 배기시켜 공정의 효율성이 향상되고 전체 공정에 소요되는 시간이 감소되며, 잔류 가스를 감소시켜 파티클(Particle) 발생을 억제할 수 있다”고 설명했다.