원익IPS(030530)는 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 반도체 제조 장치 내부를 세정하기 위한 세정가스 공급 수단이며 향후 생산성을 높이기 위해 당사 반도체 장비 적용 예정”이라고 설명했다.