테스(095610)는 기판 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 반응공간에서의 가스 밀도와 반응 온도를 향상시켜 박막의 증착효율을 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

테스는 12일 14시 32분 현재 550원(-3.57%) 떨어진 1만4850원에 거래되고 있다.