테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 식각부산물이 파우더 형태로 챔버에 응축되는 것을 효과적으로 방지하여 기판의 제조품질을 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

테스는 31일 14시 48분 현재 300원(1.73%) 오른 1만7600원에 거래되고 있다.