왼쪽부터 김혁한 반도체소부장혁신융합대학 부단장, 이칠원 차세대디스플레이혁신융합대학사업단장, 안기현 반도체산업협회 전무이사, 이상기 DB하이텍 부사장, 황준기 용인특례시 제2부시장, 안순철 총장, 김오영 교학부총장, 오좌섭 산학부총장, 구용서 차세대반도체사업단장, 강정원 반도체전문인력양성사업단장, 조완제 산학협력단장.

[헤럴드경제(용인)=박정규 기자]단국대(총장 안순철)가 K-반도체를 이끌 전문인력 양성을 위해 ‘DKU 클린룸 센터’를 개소했다.

DKU 클린룸 센터는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 연 면적 926㎡로 조성됐다. 센터에는 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등을 구축했다. 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 단국대는 원스톱으로 반도체 이론·실습 교육이 모두 가능해졌다.

개소식은 7일 죽전캠퍼스에서 열렸으며 황준기 용인제2부시장, 이상기 DB하이텍부사장, 안기현 반도체산업협회 전무이사, 안순철 총장, 김오영 교학부총장, 오좌섭 산학부총장, 구용서 차세대반도체사업단장, 강정원 반도체전문인력양성사업단장 등이 참석했다.

센터에는 ▷반도체 소자의 전기적 특성 평가 및 분석 장비인 ‘프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비’ ▷시료의 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 ‘고해상도 주사형 원자력 현미경’ ▷고에너지 자외선인 I-line을 사용해 Mask에 새겨진 회로 패턴을 웨이퍼 표면에 형성하는 ‘6인치 웨이퍼 UV노광장비’ ▷전자 빔으로 재료를 증발시켜 웨이퍼 박막을 증착하는 ‘고에너지 전자빔 박막 증착기’을 도입했다.

또한▷고온으로 재료를 증발시켜 기판에 박막을 증착하는 ‘진공열 증착기’ ▷웨이퍼를 짧은 시간 고온에 노출해 물리적,화학적 변화를 유도하는 ‘급속 열처리 시스템’ ▷플라즈마를 이용해 이온화된 가스를 타겟에 충돌시켜 박말을 증착하는 ‘스퍼터 시스템’ ▷플라즈마를 이용해 화학반응 및 물리적 충돌로 박말을 식각하는 ‘반응성 이온 식각 시스템’ 등을 구축했다.

이를 통해 단국대는 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 메가 클러스터가 조성되는 용인의 뛰어난 입지를 바탕으로 산업체 수요를 반영한 전공자·비전공자·기업 재직자를 위한 산학협력 현장 실무형 교육과정을 운영한다. 특히 기업들은 센터의 기술·장비 솔루션을 통해 설계부터 후공정에 이르기까지 최적화된 기술지원을 제공받고 공동연구에도 참여하게 된다.

단국대는 2027년까지 3단계에 걸쳐 클린룸을 고도화하고 70여 종 이상의 공정 설비 및 계측 설비를 구축해 24시간 운영한다. 오는 11월 기업 및 연구기관을 위한 ‘DKU 클린룸 센터’ 장비 예약시스템이 오픈된다.

안순철 총장은 “국내 대학 최고 수준의 반도체 클린룸을 통해 단국대는 현장 맞춤형 반도체 인재 양성에 박차를 가할 계획”이라며 “반도체 메가 클러스터가 조성되는 경기 남부권에 지·산·학·연을 잇는 차세대 반도체 R&D 허브로 발전시킬 것”이라고 밝혔다.

한편, 단국대는 반도체 산업 분야 핵심인재 양성을 위해 「차세대반도체사업단」을 창단했다. 융합반도체공학과(학부), 파운드리공학과(대학원)를 신설해 반도체 소자·재료·공정·회로설계·신뢰성평가 등 특화된 교육과정을 제공하고 있다. 또한 △반도체소부장혁신융합대학사업 △첨단산업인재양성부트캠프사업 △반도체전공트랙사업 등의 정부지원 사업을 수행하고 있다.