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  • 가우스랩스 ‘파놉테스 VM 2.0’ 출시
품질·고객 편의 개선 AI솔루션
SK하이닉스, 식각 공정에 도입

SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 기업 ‘가우스랩스’가 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘파놉테스 VM’의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.

파놉테스 VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다.

가우스랩스는 “이번 2.0은 신규 모델링 기능들을 적용해 기존 버전 대비 예측 정확도와 사용성을 크게 개선했다”며 “산업용 AI 기술 혁신을 통해 산업 현장에서 공정 전반의 혁신을 주도하겠다”고 밝혔다.

가우스랩스는 지난 2022년 11월 파놉테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스는 이를 같은 해 12월부터 양산 팹(Fab)에 도입해 박막 증착 공정에 적용했다. 그 후 파놉테스 VM을 통해 가상 계측한 결과값을 APC와 연동해 공정 산포를 약 29% 개선했고, 수율 또한 향상되는 효과를 얻었다.

SK하이닉스는 성능이 개선된 이번 솔루션을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 이를 위해 가우스랩스는 ‘멀티 스텝 모델링’ 기능을 이번 솔루션에 추가했다. 예측하고자 하는 공정과 앞서 진행된 공정의 데이터를 함께 활용해 모델링을 할 수 있는 기능으로, 이전 공정의 영향을 많이 받는 식각 공정에 이 기능을 활용하면 가상 계측의 정확도를 높일 수 있다.

김민지 기자

jakmeen@heraldcorp.com

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