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| 대기비개방 통합형 주사전자현미경은 시편을 가공하는 장비인 단면시편제작부와 시편 관찰을 전담하는 시편 관찰부로 구성돼 있다. 두 부분이 통합돼 대기에 노출되지 않고 즉시 관찰이 가능해 대기오염 문제가 최소화 된다.[제공=나노종합기술원] |
[헤럴드경제=구본혁 기자] 나노종합기술원은 전자현미경 전문업체 코셈과 공동연구를 통해 세계최초 대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경을 개발, 상용화에 성공했다고 4일 밝혔다.
대기 비개방형 시편제작 통합형 주사전자현미경은 시편가공과 시편관찰을 일체화함으로써, 관찰을 위해 제작된 시편이 대기에 노출되었을 때 대기 물질과의 반응으로 시편이 변형되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다. 이를 통해 시편의 관찰분석에 대한 신뢰성을 높여 최근 각광받고 있는 이차전지, 유기발광다이오드 연구개발 분석에 크게 기여할 것으로 기대된다.
이번에 개발된 주사전자현미경은 대기 노출 반응에 의한 변화를 막을 수 있을 뿐 아니라 가공시 발생하는 열에 의한 시편의 변화를 방지하기 위해 냉각모듈을 장착해 가공 중 발생할 수 있는 시편의 변화를 최소화하도록 했다.
또한 전량 해외로부터 수입에 의존하던 단면시편가공기도 국산화함으로써 수입대체 효과도 발생해 매출 증가에 기여할 것으로 기대된다.
이재영 나노종합기술원장은 “이번 장비개발은 국가인프라시설의 활용한 연구지원에서 한발 더 나아가 중소기업의 경쟁력 확보를 위해 기술원이 쏟은 땀방울의 결과”라며 “앞으로도 연구기술의 사업화를 통한 중소 장비기업의 산업 경쟁력 제고를 위해 꾸준히 노력하겠다”고 밝혔다.
구본혁기자nbgkoo@heraldcorp.com
