테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 모든 기판이 일정한 양과 시간 동안 공정가스에 노출되는 구조를 형성함으로써, 기판에 증착되는 박막의 균일도가 향상된다는 장점이 있다”고 설명했다.

테스는 23일 14시 10분 현재 300원(2.51%) 오른 1만2250원에 거래되고 있다.