기후위기시계
×
News
정치
경제
사회
국제
IT/과학
생활/문화
연예/스포츠
오피니언
지역뉴스
호남취재본부
대구&경북
PR Newswire
Special Section
D;Con
HeMil(밀리터리)
기획기사
H.Insight
Global Insight
오운완(운세/사주)
●
실시간 뉴스
기획기사
신문구독
뉴스레터
공시&일정
<생생코스피>참엔지니어링, 가스 분사 어셈블리 및 기판 처리 장치 특허취득
2013.01.24 10:04
참엔지니어링은 가스 분사 어셈블리 및 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.
회사측은 “플라즈마를 이용한 기판처리 공정에 있어 서로 다른 이온 에너지 및 밀도 특성을 갖는 플라즈마를 함께 이용해 기판처리 공정 속도를 향상시키며 기판 또는 박막에 대한 손상을 줄일 수 있다”면서 “반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.
맞춤 정보
당신을 위한 추천 정보
많이 본 정보
오늘의 인기정보
이슈 & 토픽
비즈 링크