국내 반도체장비 업계 대부인 곽노권(사진) 한미반도체 회장이 4일 오전 별세했다. 향년 85세.

고(故) 곽 회장은 1938년생으로 1967년 모토로라코리아에 입사 후 14년 간의 근무경험을 바탕으로 1980년 한미금형(현 한미반도체)을 설립, 당시 불모지였던 반도체장비 국산화를 이끌었다.

고인이 1998년 개발한 ‘비전플레이스먼트(Vision Placement)’는 200여개의 특허 등 핵심 역량을 적용이 적용된 장비로 2004년부터 현재까지 세계시장 점유율 1위를 기록 중. ‘마이크로쏘’, ‘EMI실드’, ‘본더’와 함께 글로벌 320여개의 반도체 기업에 공급되고 있다.

최근에는 인공지능(AI) 반도체용 HBM 필수공정 장비인 ‘듀얼 TC본더’를 개발, 시장의 호평을 받아 시가총액이 6조원을 돌파했다. 국내 반도체장비 업계 시총 1위 도약에 밑거름이 됐다.

고 곽 회장은 이같은 공로를 인정받아 지난 2013년 우수자본재 개발유공자로 선정돼 기업인 최고의 영예인 금탑산업훈장을 수훈했다. 또 1997년부터 현재까지 취약계층 아동을 위한 의료지원, 장학사업, 교육사업을 후원하며 기업의 사회적 책임을 다하기 위해 힘썼다.

유족으로는 아들 동신(한미반도체 대표이사 부회장)씨와 딸 혜신·명신·영미·영아 씨가 있다. 빈소는 삼성서울병원 장례식장 17호실, 발인은 12월 6일이다.

유재훈 기자