이창양 산업통상자원부 장관(왼쪽)과 글로벌 반도체 장비 기업 ASM의 벤자민 로(Benjamin Loh) CEO가 2일 오전 서울 중구 플라자호텔에서 양해각서에 서명한 뒤 교환하고 있다. [산업통상자원부 제공]

세계 1위 반도체 원자층 증착장비(ALD) 기업인 네덜란드 ASM이 2025년까지 우리나라에 1억달러(한화 1225억원가량) 규모의 투자를 이행키로 했다. 원자층 증착장비는 웨이퍼에 원자단위 깊이의 산화막을 증착하는 장비로 관련 투자가 이뤄질 경우, 반도체 장비 공급망 확대와 국내 기업들과 시너지 효과가 기대된다.

산업통상자원부는 이창양 장관이 2일 오전 ASM 한국대표와 만나 이같은 투자협력과 관련한 양해각서(MOU)를 체결했다고 밝혔다. MOU 주요 내용은 1억 달러 규모의 연구개발(R&D센터) 확장 투자와 ASM 제2공장 신설 관련 상호협력이다.

산업부에 따르면 ASM는 반도체 제조공정 중 증착 공정에 활용되는 장비를 주로 생산하는 기업이자 네덜란드 노광장비 기업 ASML의 모태가 된 기업으로 ALD 장비 관련 세계 1위 매출규모와 기술력을 갖추고 있다.

이번 양해각서를 통해 ASM는 우리나라에 신(新)공정을 활용해 원자층 증착 장비를 생산하는 제2공장을 신설하고 R&D센터 증설을 올해안으로 결정한다. 이를 통해 2025년까지 1억달러의 대규모 투자를 이행한다는 것이다.

ASM는 앞서 2015년 9월 경기도와 투자 협약 이후 2년여간 생산 계획, 라인 설계를 마친 뒤 경기 화성에 본격적인 투자에 돌입한 바 있다. 당시 해외 유력 반도체 장비 업체가 국내에 완전한 생산라인을 갖추는 것은 드문 일로 주목을 받았다. 유럽계 장비 업체 중에선 처음이다. 지난해 10월에는 산업부의 현지 투자유치 과정에서 1000만달러를 추가 투입해 한국에 반도체 장비 생산공장이나 연구개발센터를 짓기로 했다.

산업부는 성공적인 투자결정과 이행을 위해 인센티브 협의, 애로사항 해소 등을 적극 지원할 예정이다. 관련 제도개선과 규제혁신을 적극 추진하고 전략적 유치 필요성이 큰 첨단산업 분야의 외국인투자 인센티브도 지속적으로 확대할 방침이다.

이 장관은 MOU 체결에 앞서 진행된 벤자민 로 ASM 한국대표와 면담에서 “세계 반도체 장비 투자액의 큰 비중을 차지하며 글로벌 반도체 기업을 여럿 보유하고 있는 우리나라와 ASM간의 협력 필요성이 크다”고 강조했다. 이어 “반도체 공정 미세화에 따라 ASM이 강점을 가진 원자층 증착장비와 관련해 우리나라에 대한 투자가 확대되는 경우, 반도체 장비 공급망을 확대하고 국내 반도체기업들과도 상당한 시너지 효과를 발휘할 수 있을 것”이라고 덧붙였다. 배문숙 기자