SKC솔믹스 천안공장의 CMP패드 제조 공정. [SKC 제공]

SKC가 반도체 공정 핵심소재인 CMP패드 천안공장 상업가동을 개시했다.

SKC의 반도체 소재·부품 전문 자회사 SKC솔믹스는 최근 충남 천안 CMP패드 2공장 건설을 마치고 상업가동에 들어갔다고 3일 밝혔다.

지난해부터 470억원을 투자해 건설한 CMP패드 2공장은 연간 생산규모가 12만장이다. 기존 안성공장의 6만장까지 포함해 총 18만장의 생산능력을 확보했다.

CMP패드는 반도체 웨이퍼 표면을 기계적·화학적 작용으로 연마하는 고부가 제품이다. 반도체의 집적도를 높이는 데 필요한 핵심소재로, 최근 반도체가 미세화하고 공정수가 증가하면서 사용량이 늘고 있다. 반도체시장 조사기관 분석에 따르면 CMP패드 글로벌 시장 규모는 2023년 1조5800억원 수준에 달할 것으로 예상된다.

SKC는 지난 2015년 총 200억원을 투자해 안성 용월공단에 CMP패드 1공장을 준공하면서 CMP패드 사업에 첫 발을 들였다. 이후 수요 증가에 대응하기 위해 2공장 증설을 결정하며 생산능력을 기존 대비 세 배 확대했다.

SKC솔믹스는 이를 바탕으로 수입에 의존하는 CMP패드 국산화율을 높여나간다는 계획이다. 현재 CMP패드 시장은 특허기술의 장벽 탓에 시장 진입이 어려워 미국 기업 두 곳이 전 세계 시장점유율 90% 이상을 차지하고 있다.

SKC솔믹스는 CMP패드 제조사 중 유일하게 CMP패드 원액 제조 레시피를 보유하고 있다. 특히 마이크로미터 수준으로 작은 CMP패드 속 기공의 크기, 균일도를 자유자재로 조절하는 역량도 보유해 고객사 요구에 맞춰 신속 개발·공급이 가능하다는 설명이다.

지난 2016년 텅스텐 공정용 패드를 개발해 고객사가 사용하던 수입산을 대체했고, 카퍼 공정용 패드를 처음으로 국산화했다. 최근 난이도가 높은 옥사이드 공정용 패드도 최초로 국산화에 성공했다. 김현일 기자