나노종기원 2층팹에 설치된 12인치 테스트베드 5대 장비 설치 모습.[나노종합기술원 제공]

[헤럴드경제=구본혁 기자] 일본의 수출규제에 맞서 반도체 소재 부품 장비의 국산화 첨병 노릇을 하게될 반도체 테스트베드가 구축돼 본격 가동된다.

나노종합기술원은 총사업비 450억원을 투입해 12인치 반도체 테스트베드를 구축, 내년 1월부터 국내 중소기업의 제품 개발 테스트를 지원해 나간다고 밝혔다.

나노종기원은 약 300평 규모의 청정실에 12인치 실리콘 반도체 전용장비 ‘ArF 이머전 스캐너’ 10대를 도입하고 300nm 반도체 장비활용 단위 모듈 및 특화공정을 개발한다.

이머전 스캐너는 반도체 핵심소재 중 하나인 포토레지스트(감광제)를 평가하는 장비로 그동안 국내 기업들은 벨기에 아이멕(Imec)에서 비싼 비용을 들여 검증 시험을 받아왔다.

국내 중소기업들은 테스트베드를 우선 활용해 소재 개발기간을 단축하고 비용을 최소화할 수 있게 된다.

나노종기원은 오는 2024년까지는 전구체 장비 재료 20m급 패턴 웨이퍼의 성능을 측정할 수 있는 테스트베드를 구축할 계획이다.

이조원 나노종기원 원장은 “삼성, SK하이닉스 등은 40~20nm급 패터닝 공정을 활용 중으로 20nm급 패턴 공정기술이 절실히 요구된다”며 “양산성 있는 평가 데이터 확보를 위해서는 추가적인 공정장비가 필요한 상황”이라고 설명했다.

그는 또 “외국기업과의 개방형 연구개발을 통한 국산화를 지원하고 단순 공정 측정 분석 서비스 수준을 넘어 공정 컨설팅, 제품 공동개발 지원을 강화해 나가겠다”고 덧붙였다.

나노종기원은 이외에도 시스템반도체, 반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스, IoT(사물인터넷) 센서 개발에도 연구역량을 집중시켜 나갈 계획이다.

nbgkoo@heraldcorp.com