[헤럴드경제=구본혁 기자] 플라즈마 기술을 활용해 국내 반도체 장비산업의 경쟁력을 확보하기 위한 출연연 융합연구가 본격 추진된다.

국가과학기술연구회(NST)는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 ‘반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증’ 과제(플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단)를 선정했다고 13일 밝혔다.

융합연구단은 출연연간 칸막이를 해소해 국민 삶의 질 개선과 신성장 동력 창출에 기여하는 연구를 추진하는 국가과학기술연구회 융합연구사업이다. 대형 연구성과 창출을 위해 연구자가 한 장소에 결집해 연구하고 종료 후에는 원소속기관으로 복귀하는 일몰형 연구조직을 특징으로 하고 있다.

플라즈마 융합연구단은 NST 소관의 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원(KISTI), 한국표준과학연구원과 서울대 등 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다.

반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증을 최종 목표로 6년 간 440억원이 투입되며, 오는 11월 1일부터 군산시에 위치한 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에서 연구를 진행한다.

또한 출연연 지역조직에 융합연구단을 운영함으로써 과학기술기반 지역산업단지 혁신성장의 성공사례를 만들 것으로 기대하고 있다.

윤정식 플라즈마 융합연구단장은 “반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 R&D 테스트 베드를 구축해 국산 장비의 글로벌 경쟁력을 높이고, 세계 시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라 포부를 밝혔다.

원광연 NST 이사장은 “반도체 장비에 대한 해외 의존도가 높은 상황에서 플라즈마 융합연구단이 국산 반도체 공정 장비의 경쟁력을 높이는 전환점이 되길 바란다”며 “군산시에 설치되는 융합연구단이 지역 내 장비산업의 허브로서 지역산업혁신과 국토균형발전을 이룰 수 있도록 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.

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