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  • 플라즈마 기술로 ‘차세대 디스플레이’ 대량생산길 연다
- 핵융합연구원, ECR 플라즈마 스퍼터링 기술이전

유석재(왼쪽) 한국핵융합에너지연구원장과 김광현 (주)아바코 대표이사 기술이전 협약을 체결하고 있다.[한국핵융합에너지연구원 제공]

[헤럴드경제=구본혁 기자] 장치 수명과 안정성을 획기적으로 높일 수 있는 플라즈마 디스플레이·반도체 제작 기술이 국내 기업에 이전돼 본격적인 양산 장비 개발이 추진된다.

한국핵융합에너지연구원은 17일 ㈜아바코와 ‘ECR 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술’ 이전 계약을 체결하고, 차세대 디스플레이 증착 양산 장비 개발을 추진한다고 밝혔다.

ECR 플라즈마 스퍼터링 기술은 타깃 근처에 고밀도 플라즈마의 발생과 전압 조절을 각각 독립적으로 제어할 수 있어, 고에너지 입자에 의한 박막의 손상을 최소화하고, 박막 표면 가열 효과를 통해 저온에서 고품질의 박막을 증착하는 첨단 기술이다.

하지만 기존 기술의 경우 장치 구조적 문제로 인한 증착률 손실과 마이크로파 발생 장치의 짧은 수명, 내·외부 진공 챔버의 크기 등으로 인해 대규모 양산에 한계가 있었다.

이번에 이전되는 ‘ECR 플라즈마 스퍼터링 기술’은 기존 스퍼터링 기술보다 공정 압력을 10배 낮게 운전할 수 있으며, 증착률과 입자의 에너지도 조절 가능해 장치 수명과 안정성을 획기적으로 개선했다. 기존 장치가 구현하지 못했던 차세대 디스플레이 박막 증착 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대되고 있다.

㈜아바코는 이번 기술이전을 바탕으로 세계 최초로 양산 기술을 확보, 국내외 차세대 반도체·디스플레이 제작 시장 점유 확대를 추진한다는 계획이다.

기술이전 책임자인 김성봉 박사는 “이번 기술은 그동안 해결 과제였던 양산성을 획기적으로 높인 신개념 기술로, 양산화 성공 시 국내 기업이 차세대 디스플레이 산업을 선도하는 ‘퍼스트 무버’로 발돋움하고, 이 분야 국가경쟁력을 높이는데 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 밝혔다.

유석재 핵융합연 원장은 “이번 기술이전 사례는 출연연과 국내 중소·중견기업이 신뢰를 바탕으로 오랜 기간 지속적으로 협업하며 산업기술 발전에 기여한 모범 사례가 될 것”이라며 “앞으로도 연구원의 우수 연구 성과들을 다양한 산업 분야에 확산하여 국가산업발전에 기여할 수 있도록 노력하겠다”고 전했다.

nbgkoo@heraldcorp.com

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