한국기초과학지원연구원은 반도체의 발열특성을 정밀하게 측정할 수 있는 공초점 열반사 현미경 기술을 개발하고 나노스코프시스템즈에 기술이전을 실시했다고 23일 밝혔다.
선급기술료 5천만원, 경상기술료로 매출액의 5%를 받는 조건이다.
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| 한국기초과학지원연구원 김동욱 박사(왼쪽)과 장기수 박사가 개발한 공초점 열반사 현미경 앞에서 기념촬영을 하고 있다.[사진제공=한국기초과학지원연구원] |
이 기술은 반도체 동작 시 발생하는 열의 분포를 고분해능으로 측정해 영상화하는 현미경 기술로 반도체 업계의 핫이슈로 부각된 반도체 발열문제 해결을 위해 필수적이다.
광분석장비개발팀 장기수, 김동욱 박사 연구팀이 개발한 이 기술은 시료를 레이저로 스캔하면서 열반사율의 분포를 측정해 발열영상을 구현, 발열영상의 공간분해능을 높이고 시료 내부의 발열영상 측정도 가능하다.
반도체의 발열특성 분석에 주로 사용되는 기존 적외선 현미경 방식은 미세한 발열도 확인이 가능한 반면, 공간분해능이 3.0 마이크로미터((㎛, 1㎛는 10만분의 1m)에 불과해 미세 반도체에는 활용이 어려웠다.
연구팀은 반도체의 온도변화에 따른 빛의 반사율 변화 분포를 레이저로 스캐닝하면서 측정해 발열영상을 구현하는 공초점 열반사 현미경 기술을 개발했다.
기존 발열영상 현미경의 공간분해능을 훌쩍 뛰어넘는 350 나노미터((nm, 1nm는 10억분의 1m)의 분해능을 구현하고 소자 내부의 발열영상까지 측정 할 수 있게 됐다.
기술을 이전받은 나노스코프시스템즈는 고분해능 발열영상을 제공하는 공초점 열반사 현미경을 개발해 반도체의 발열문제 해결을 위한 핵심 장비로 시장에 출시할 계획이다.
장기수 박사는 “지속적인 기술 개발을 통해 국내뿐만 아니라 반도체, 디스플레이 소자의 발열특성 분석 수요가 많은 해외 선진국에서도 경쟁력을 갖추도록 할 계획”이라고 밝혔다.
구본혁기자nbgkoo@heraldcorp.com
