[헤럴드경제=박영훈 기자] 원익QnC는 상압소결방식을 이용한 저저항 탄화규소세라믹(SiC) 소재 및 그의 제조방법에 관한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

회사측은 “탄화규소에 일정량의 첨가제를 넣어 상압소결 방법으로 비저항값을 조절하고 플라즈마 내식성을 향상시킨 탄화규소 소재 제조 방법에 대한 특허”라며 “반도체 Dry Etcher 공정용 부품이나 그 외 저항특성과 플라즈마 내식성이 요구되는 세라믹 파트에 활용할 계획”이라고 밝혔다.

park@heraldcorp.com