[헤럴드경제=배문숙 기자］글로벌 반도체 장비업체인 네덜란드의 ASML이 경기 화성에 새로운 캠퍼스(재제조·트레이닝 센터)를 짓는다. ASML은 반도체 미세화 공정에서 꼭 필요한 ‘극자외선(EUV) 노광장비’를 독점 생산하는 곳으로, 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위 기업이다.

특히 ASML가 국내 착공을 개시하면서 어플라이드머티리얼스(AMAT), 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL) 등 글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4대 기업이 모두 우리나라에 연구개발(R&D)센터 등의 투자에 나서거나 확대하게 됐다. 이로써 국내 반도체 업계의 기술 경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

산업통상자원부는 ASML 뉴캠퍼스(New Campus) 기공식이 16일 경기 화성에서 열려 본격 공사에 들어간다고 밝혔다. 기공식에는 주최측인 ASML의 피터 베닝크 CEO가 직접 참석한 가운데 문동민 산업부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원(경기화성을), 수요기업 등 관계자 160여 명이 참석했다.

ASML는 1984년 네덜란드에서 설립된 반도체 장비 기업으로 노광장비 시장 점유율 1위를 차지하고 있다. ASML는 이번 화성 뉴캠퍼스를 통해 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등을 건립한다는 계획이다. 2021년부터 2025년까지 총 2400억원이 투자하고 규모는 1만6000㎡에 이른다.

산업부는 ASML 뉴캠퍼스의 국내 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, KOTRA 등과 함께 협력해왔으며 1년 전 ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약을 체결한 바 있다. 최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 발표 등 국내 투자에 걸림돌이 되는 규제를 지속적으로 완화하고 있다.

문 실장은 “국내 첨단 반도체 클러스터 중 하나인 ASML 화성 캠퍼스가 한국의 반도체 초강대국 달성전략 추진과 함께 한국과 네덜란드, 양국간 첨단산업 생태계 협력 강화에 크게 기여할 것”이라고 강조했다. 이어 “화성 뉴캠퍼스를 통해 건립되는 재제조센터와 트레이닝 센터 이상의 후속적 투자를 한국으로 유치하기 위해 ASML과 지속적인 협력 채널을 유지하고 필요한 지원을 다할 것”이라고 덧붙였다.